SQM-500W表面质量检测系统用于对样品表面清洁质量进行检测与分析。
SQM系列产品的重大突破是首次提供表面清洁度的定量分析。可以对各种表面上的污染进行非接触无损伤的快速准确的测量。结果能够为优化表面清洁工艺提供真实可靠的分析，为产品品质提供有力可信的保证，是公司利润和信誉提供必不可少的保障。
 
产品特点：
■ 各种材料表面：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂/金属
■ 各种污染：有机的和无机的污染物
■ 可对清洁度定量分析
■ 可对清洁度等级设定
■ 对新的清洁工艺进行评估，优化工艺
■ 可以检测到难以观测到的薄膜
■ 测量薄膜厚度
■ 在线和离线可选择
■ 样品不需要其他准备动作，可直接检测，方便快捷
■ 非接触，无损害
■ 精度可达埃米
 
型号
功能简介
SQM200W
单通道系统，检测表面清洁度。自动储存。
系统功能包含上下限设定，模拟信号输出及接受拒绝指示。
SQM300W
SQM200W 有机和无机薄膜厚度，过程控制图表。
SQM400W
(仅针对NASA，对其他所有客户不销售)
多通道系统，检测表面清洁度，有机和无机薄膜厚度。
系统功能包含上下限设定，模拟信号输出及动静指示。 
模块化系统，允许用户定义多通道，5分钟内替换其子装备，可操作性强。
SQM500W
集成扫描，3D彩色图形系统，可检测不可见的污染物，使其直观可见。
包含电动系统和控制X-Y扫描台。是检测和分析表面化学变化的强大工具。
SQM600W
集成扫描，3D彩色图形系统，可检测不可见的污染物，使其直观可见。
包含电动系统和控制旋转扫描台及线性轨道。
是检测和分析表面化学变化的强大工具。